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什么是干式真空泵
来源:www.yg-pump.com 发布时间:2017-10-26 15:53
  干式真空泵式指泵能从大气压下开始抽气,又能将气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。   目前,大多数机械真空泵都是用油、水或其他流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科技发展及真空应用领域的扩大,原有的真空泵出现了两个急需解决的问题:一是泵的工作解释返流污染被抽容器,在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本;其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,是泵不能正常工作。这时就要用到干式真空泵。   干式真空泵的应用主要有以下几个方面:   1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺   2.半导体刻蚀工艺,在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。   3.除半导体工艺外某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。   4.在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵。   5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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